电弧：
电弧和溅射：
- 全程自动化控制
- 适合研究及小批量生产、灵活操作、稳定性高
- 电弧和溅射可共同工作
- 远程诊断功能
- 提供交钥匙工程
- 标准涂层：TiN, TiCN, CrN, ZrN, CrCN, TiAlN, AlTiN......
- 进阶涂层：TiSiN, TiAlSiN, WC/C, CrTiN......
- 涂层类别：单层、多层、纳米结构涂层
- 基材：工具钢、高速钢、硬质合金
- 装夹：最大 Ø350mm 高度:最大400mm
- 负载: 最大250公斤
- 炉体: 600×580×580mm(W x H x D)
- 真空系统：旋转叶片泵:65 m3 / h
- 汽轮分子泵：685 l/s
- 供热系统：辐射热功率：2 x 5 kW
- 最高温度： 500 °C
- 电源：偏置电源功率：最大10 kW
- 靶面直径: 150 mm 每个靶材电流：最大250A
- 功率：35 kVA