一般资料

  • 技术:劈裂电弧
  • 占地空间:W5,000×D4,900×H2,100 mm
  • 其他:双壁不锈钢水冷炉体,专家操作系统,远程诊断功能

炉装量 (24小时计)

  • 铣刀
    • D6×50 mm = 4,500×5 = 22,500
    • D16×95 mm = 1,000×5 = 5,000
  • 刀片
    • D20×H6 mm = 4,000×4 = 16,000
  • 滚刀
    • D80×180 mm = 90×4 = 360

转盘

  • D900×H850 mm

功率

  • 3×400V/160kW

靶材

  • 727×178×18 mm (6组)
  • 200/400×5

涂层种类

  • 标准涂层
    • TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, MDT
  • 可选涂层
    • TiAlSiN, AlCrTiN, DLC, NF1

真空/ 等离子

  • 真空室尺寸
    • W800 x D800 x H1,150 mm
  • 真空室容量
    • 730 l
  • 有效等离子体容量
    • (D=直径、H=有效目标物高度) D=550 x H720

电气/ 软体

  • 工业用PC系统
  • 简易的诊断与说明系统
  • 通过数据机或IP远端诊断
  • 备用备份镜像硬碟