一般资料
- 技术:劈裂电弧
- 占地空间:W5,000×D4,900×H2,100 mm
- 其他:双壁不锈钢水冷炉体,专家操作系统,远程诊断功能
炉装量 (24小时计)
- 铣刀
- D6×50 mm = 4,500×5 = 22,500
- D16×95 mm = 1,000×5 = 5,000
- 刀片
- D20×H6 mm = 4,000×4 = 16,000
- 滚刀
- D80×180 mm = 90×4 = 360
转盘
- D900×H850 mm
功率
- 3×400V/160kW
靶材
- 727×178×18 mm (6组)
- 200/400×5
涂层种类
- 标准涂层
- TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, MDT
- 可选涂层
- TiAlSiN, AlCrTiN, DLC, NF1
真空/ 等离子
- 真空室尺寸
- W1,200 x D1,200 x H1,200 mm
- 真空室容量
- 1,500 L
- 有效等离子体容量
- (D=直径、H=有效目标物高度) D=900-950 x H730 mm
电气/ 软体
- 工业用PC系统
- 简易的诊断与说明系统
- 通过数据机或IP远端诊断
- 备用备份镜像硬碟