neoDiam 钻石膜特性

客制化涂层
硅材料:p-Si,n-Si,SiC,Si3N4,SiO2,SOI,etc
基底材料:Nb,Ta,Ir,W,其它难熔金属,碳化物,蓝宝石,陶瓷,及其它更高要求
基地尺寸:宽度达到400mm以上,长度达到1200mm
膜结构:微晶体,纳米晶体
涂层厚度:100纳米-20微米
硼浓度:100-10000ppm

环境要求

CVDiam 尺寸 (mm) H×L×W 功率 (KW) 表面沉积 (mm) W×L
HF40 1700 x 1200 x 1000 15 200 x 200
HF112 2000 x 1900 x 1200 30 400 x 280
HF232 2000 x 2200 x 1200 60 400 x 280
HF352 2000 x 3600 x 1300 90 400 x 880
HF472 2000 x 4000 x 1300 120 400 x 1180