特殊资料
- 针对钨钢刀片开发之涂层工艺
- 可以按客户需求将涂层厚度加厚而仍能维持低应力之效果
一般资料
- 技术:劈裂电弧
- 占地空间: W3,000 × D2,300 × H2,100 mm
- 其他: 双壁不锈钢水冷炉体,专家操作系统,远程诊断功能
炉装量 (24小时计)
- 刀片
- D20 × H6 mm = 2,340 × 7 = 16,380
转盘
- D436 × H727 mm
功率
- 3×400V/100 kW
靶材
- 727×178×18 mm (3组)
- 200/800/800
涂层种类
- 标准涂层
- TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, MDT, ALL
- 可选涂层
- TiAlSiN, AlCrTiN, DLC, NF1, TAS, ACO, ALINOX, TICX
真空/ 等离子
- 真空室尺寸
- W800 x D800 x H1,150 mm
- 真空室容量
- 730L
- 有效等离子体容量
- (D=直径、H=有效目标物高度) D550 x H720 mm
电气/ 软体
- 工业用PC系统
- 简易的诊断与说明系统
- 通过数据机或IP远端诊断
- 备用备份镜像硬碟