一般资料
- 技术:劈裂电弧
- 占地空间:W2,100×D2,300×H2,100 mm
- 其他:双壁不锈钢水冷炉体,专家操作系统,远程诊断功能
炉装量 (24小时计)
- 铣刀
- D6×50 mm = 1,800×5 = 9,000
- D16×95 mm = 450×5 = 2,250
- 刀片
- D20×H6 mm = 2,340×5 = 11,700
- 滚刀
- D80×180 mm = 24×5 = 120
转盘
- D436×H727 mm
功率
- 3×400V/85kW
靶材
- 727×178×18 mm (3组)
- 200/400/400
涂层种类
- 标准涂层
- TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, MDT, ALL
- 可选涂层
- TiAlSiN, AlCrTiN, DLC, NF1
真空/ 等离子
- 真空室尺寸
- W800 x D800 x H1,150 mm
- 真空室容量
- 730 l
- 有效等离子体容量
- (D=直径、H=有效目标物高度) D=550 x H720
电气/ 软体
- 工业用PC系统
- 简易的诊断与说明系统
- 通过数据机或IP远端诊断
- 备用备份镜像硬碟